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作者:管理员  来源:和瑞微波  浏览:3754次  更新:2016-1-19

    微波等离子体化学气相合成(MPCVD)金刚石、类金刚石等多种薄膜、膜,高质量光导?#23435;?#24555;速制备;多种纳米?#20923;?#24494;细粉制备;芯片的微波ECR等离子体刻蚀;高效长寿命微波离子源;微波等离子体火炬及材料加工;单炉或连续式微波精细陶瓷高温烧结等。

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